E-Chuck Power Supplies

Softwaregesteuerte elektrostatische Chuck Spannungsversorgungen von Trek bieten Vielseitigkeit und Leistung für den Einsatz in verschiedenen Prozessen.

Hersteller: Trek Inc. (Advanced Energy)

Technologie-Typ: Chuck-Stromversorgungen

Die Power Supplies für elektrostatisches Chucks von Trek werden zum Anlegen von Wechsel- und Gleichspannungen an die Elektrode(n) verwendet. Sie sind ideal für Anwendungen wie das präzise Manipulieren und Spannen von Halbleiterwafern oder Flachbildschirmen während der Bearbeitung und Handhabung. Unsere Chuck-Spannungsversorgungen bieten einzigartige Funktionen wie anpassbare AC-Wellenformen (für schnelleres Entklemmen) und ein einfach zu bedienendes Wafer-Erkennungssystem.

Konfigurierbar für benutzerdefinierte Clamp- und Declamp-Sequenzen und Wellenformen
Abschließbare Frontplatten-Bedienoberfläche
±2 oder ±3 kV Bipolarer oder unipolarer Betrieb

10 mA Spitzenstrom
Coulombischer oder Johnson-Rahbek-Betrieb

Funktionsprinzip

Die Trek Elektrostatik Chuck Spannungsversorgungen basieren auf softwaregesteuerten Hochspannungsverstärkern, die speziell für elektrostatische, bipolare Halbleiter-Wafer-Chucking-Systeme (E-Chuck) verwendet wird. Die Technologie der Modelle 645/645 ermöglicht das Hochladen verschiedener Chucking/De-Chucking-Profile in das Gerät. Die Versorgung verwendet die hochgeladenen Profile, um die gewünschten Wellenformen und Spannungen zu erzeugen, die eine optimale E-Chuck-Leistung in einem bestimmten Prozess/einer bestimmten Anlage liefern.

Das Produkt besteht aus zwei Hochspannungsverstärkern und einem Steuerschaltkreis, der die verschiedenen Profile nutzt, die über die benutzerfreundliche Software des Geräts in das Power Supply hochgeladen werden. Nach dem Hochladen werden die Profile intern gespeichert und zum effektiven Chucking und De-Chucking des Wafers verwendet.

Die interaktive Software des Geräts ermöglicht die Steuerung von Parametern wie Überstrom, Schwellenwerte für Wafer-Präsenz und Wafer-Klemmung, Klemmspannung, Offset-Spannung und interne oder externe Amplituden/Offset-Steuerung. All diese Funktionen sind in einem schlanken 1U-Gehäuse untergebracht, wodurch wertvoller Rack-Platz für andere Messgeräte frei bleibt.

Weitere Merkmale sind die im Prozess einstellbare Amplitude/Offset und die Vielseitigkeit der Ausgabesteuerung. Der Ausgang kann über die rückseitigen I/O, serielle Computerbefehle (USB, RS232 oder optional Ethernet) oder über die Bedienelemente an der Frontplatte gesteuert werden. Die Vielseitigkeit der Modelle 645/646 ermöglicht den Einsatz des Geräts in mehreren einzigartigen Prozessen und macht es überflüssig, für jedes einzelnen Prozess in einer Anlage eine neue Spannungsversorgung zu spezifizieren.

Zu den weiteren Vorteilen der Trek ESC H Power Supplies gehören seine Benutzerfreundlichkeit und Tragbarkeit. Zu den Funktionen gehört ein anwenderfreundliches Menüsystem, in dem häufig verwendete Funktionen per Tastendruck adressierbar sind und erweiterte Funktionen nach Bedarf aktiviert werden können. Außerdem hebt ein leistungsstarkes Grafikdisplay wichtige Informationen hervor und gibt dem Bediener kontextbezogene Hinweise.

Verfügbare Modellvariationen

Alle verfügbaren Varianten und ein Vergleich ihrer Spezifikationen

Model	Ausgangsspannungs	Ausgangsstrom	Ausgangsphasing Ausgangsspannung A (Referenzphase )	Ausgangsphasing Ausgangsspannung B
645	0 bis ±2 kV	0 bis ±6.5 mA DC mit Spitzenwertfähigkeit von 10 mA	0 bis ±2 kV	0 bis ±2 kV (Phase B =[-1] x Phase A)
646	0 bis ±3 kV	0 bis ±6.5 mA DC mit Spitzenwertfähigkeit von 10 mA	0 bis ±3 kV	0 bis ±3 kV (Phase B =[-1] x Phase A)