Test and Measurement - Electrostatic products

Elektrostatische Instrumente

Elektrostatische Instrumente ist ein Begriff für Geräte, die unter anderem zur Messung von Wechsel- und Gleichspannung, elektrostatischer Entladung oder Oberflächenwiderstand verwendet werden. Die Integrität von Produkten und Komponenten kann durch elektrische Überlastungsbedingungen (EOS) oder durch elektrostatische Entladungen (ESD) beeinträchtigt werden. Die Produkte unserer strategischen Partner messen elektrostatische Spannung/Ladung mit Sicherheit, um das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von EOS-Bedingungen festzustellen, und ermöglichen so die Kontrolle von EOS und ESD ohne Kompromisse.

Unsere elektrostatischen Messgeräte eignen sich ideal für den Einsatz in kritischen Prozessen in der Elektrofotografie, in der Halbleiterindustrie, in der LCD-Technik und in anderen Bereichen, in denen Spannungen zur Prozessoptimierung präzise gemessen und kontrolliert werden müssen oder in denen Ladungsakkumulationen (und elektrostatische Entladungen) eine Bedrohung für die Produktionsausbeute oder die Produktqualität darstellen. Durch die Platzierung dieser Instrumente online innerhalb eines Prozesses ist eine Echtzeit-Rückmeldung und -Regelung möglich, anders als bei Kontaktmessgeräten.

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Test and Measurement - Electrostatic_Charge_plate_monitors

Charged Plate Monitors

Ladungsplattenmonitore sind erstklassige Instrumente zur Bewertung der Leistung von Luftionisationssystemen. Unsere Monitore für geladene Platten haben die Fähigkeit, Testdaten, Testzeit und -datum, den bestimmten Ionisator, von dem die Daten erhalten wurden, und Wellenformen für Hunderte von Ionisatortests zu speichern.

Diese Monitore für geladene Platten eignen sich für Halbleiter, Festplattenlaufwerke, LCDs und viele andere Fertigungsumgebungen, die empfindlich auf statische Aufladung reagieren. Sie können zum Testen aller Arten von Ionisatoren verwendet werden, einschließlich Raumionisationssystemen, AC- und DC-Gebläsen, nuklearen Ionisatoren, Ionisatoren vom Pistolentyp und gepulsten DC-Ionisatoren. Sie sind auch bei der Materialbewertung zur Prüfung der ableitenden Eigenschaften nützlich.

Test and Measurement - Electrostatic - Chuck_power_supplies

Chuck-Stromversorgungen

Unsere softwaregesteuerten elektrostatischen Chuck-Netzteile bieten eine Reihe von Funktionen, die erhebliche Vorteile bieten und gleichzeitig eine Vielzahl anspruchsvoller Anwendungen ermöglichen. Dokumentierte Anwendungen zeigen, dass Kunden eine Steigerung der Effizienz und des Durchsatzes um das Dreifache im Vergleich zu anderen Stromversorgungen feststellen konnten. Darüber hinaus eliminieren unsere Modelle praktisch alle Probleme mit klebrigen Wafers und Wafer-Poppern und gewährleisten so eine bessere Kontrolle der Partikelkontamination.

Die abschließbare Frontplattenschnittstelle dieser Verstärker/Versorgungen optimiert viele Prozesse, indem sie dem Bediener die Steuerung von Parametern wie Überstrom, Schwellenwerte für Wafer-Präsenz und Wafer-Klemmung, Klemmspannung, Offset-Spannung und interne oder externe Amplituden-/Offset-Steuerung ermöglicht. Die dynamischen Funktionen ermöglichen auch das Hochladen von elektrostatischen Chuck-Profilen in das Gerät über eine benutzerfreundliche Software-Schnittstelle. Die Profile, die intern in einem nichtflüchtigen Speicher abgelegt werden, werden zum effektiven Chuck und De-Chuck des Wafers verwendet. Es werden sowohl die Coulomb'sche als auch die Johnsen-Rahbek Elektrostatik-Chuck-Technologie unterstützt.

Aufgrund der Vielseitigkeit elektrostatischer Chuck-Stromversorgungen und ihrer Einwahlleistung kann das Gerät in mehreren einzigartigen Werkzeugen/Prozessen eingesetzt werden, wodurch die Notwendigkeit entfällt, für jedes einzigartige Werkzeug/Prozess in einer Anlage eine neue Stromversorgung zu spezifizieren.

Test and Measurement - Electrostatic products - probes

Sonden

Das patentierte Design der Sonden unseres strategischen Partners bietet die größtmögliche Signalstärke, um Rauschen und Drift zu reduzieren und eine optimale Leistung bei größeren Abständen zwischen Sonde und Oberfläche zu gewährleisten. Elektrostatische Voltmetersonden können extrem nahe an der zu messenden Oberfläche platziert werden, sind aber von dieser getrennt. Indem das Potenzial des Sondenkörpers auf das gleiche Potenzial wie die gemessene Unbekannte gebracht wird, wird eine hochgenaue Messung erreicht, die praktisch unempfindlich gegenüber Schwankungen des Abstands zwischen Sonde und Oberfläche ist, während gleichzeitig ein Lichtbogenüberschlag zwischen der Sonde und der gemessenen Oberfläche verhindert wird, was praktisch alle kapazitiven Ladeeffekte auf die Sonde eliminiert.

Test and Measurement  Electrostatic - Resistivity-Instruments

Widerstandsmessgeräte und Prüfgeräte

Oberflächen-/Volumenwiderstandsmessgeräte sind für die präzise Messung des Oberflächen- oder Volumenwiderstands auf einer Vielzahl von leitenden, ableitenden und isolierenden Materialien ausgelegt. Sie verwenden eine Messtechnik, die den ANSI/ESD-Verbandsnormen für die Messung von Oberflächenwiderstand, Widerstand und Volumenwiderstand entspricht, einschließlich STM2.1 für Bekleidung, STM4.1 für Arbeitsflächen, STM7.1 für Fußböden, STM9.1 für Schuhe, STM11.11 für Hobelmaterialien, STM11.12 für Volumenwiderstand (IEC 61340-2-3), STM12.1 für Sitzmöbel, STM11.13 für Zweipunkt-Widerstandsmessung und STM97.1 für Bodenmaterialien/Fußbekleidung. Eine Vielzahl von Messsonden-Elektrodenkonfigurationen ist ebenfalls verfügbar.

Test and Measurement - Electrostatic voltmeters

Electrostatik Voltmeters

Die Idee hinter einem elektrostatischen Voltmeter ist die Spannungsmessung ohne Ladungstransfer oder Belastung der Messquelle. Die Möglichkeit, das Oberflächenpotenzial (Spannung) auf jeder Art von Materialoberfläche ohne physischen Kontakt genau zu messen, bedeutet daher in vielen Anwendungen, dass keine Ladungsübertragung oder Belastung des Materials/der Oberfläche erforderlich ist.

In diesen sensiblen Anwendungen ist es nicht möglich, genaue Spannungsmessungen mit herkömmlichen kontaktierenden Voltmetern durchzuführen, da diese einen Ladungstransfer zum Voltmeter erfordern, was eine Belastung und Veränderung der Quellenspannung verursacht. Zum Beispiel bei der Messung der Spannungsverteilung auf einer dielektrischen Oberfläche wird jede Messtechnik, die einen Ladungstransfer erfordert, egal wie gering, die tatsächlichen Daten verändern oder zerstören.

Unsere elektrostatischen Voltmeter liefern eine DC-stabile Spannungsmessung, ohne dass die Testoberfläche berührt werden muss. Das bedeutet, dass es möglich ist, jede Oberfläche zu messen, sogar sich bewegende Oberflächen, ohne Ladungstransfer von der Oberfläche. Dies bedeutet, dass die gemessene Spannung nicht verändert wird.

Power Supply Technology Centre

Die Fähigkeit unserer Ingenieure, Ihnen kontinuierlich hochmoderne kundenspezifische Stromversorgungen zu liefern, wird durch das Power Supply Technology Centre unterstützt.

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Power supply Technology Centre

 

Jedes Gerät braucht Strom, aber mit einer riesigen Vielfalt an Funktionen und Spezifikationen kann es schwierig sein, das richtige Produkt für Sie zu bestimmen. Mit diesem Service sind die Möglichkeiten grenzenlos.

Ganz gleich, ob Sie ein Standardprodukt modifizieren oder konfigurieren möchten, Sie ein kundenspezifisches Design integrieren wollen oder ein Rack oder eine Leiterplatte entwerfen und modifizieren möchten - wir unterstützen Sie bei der Konstruktion, Fertigung, Prüfung und Integration Ihrer maßgeschneiderten Lösung.

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