Universal-Gasanalysatoren für den Labortisch (UGA)

Die UGA-Baureihe kombiniert einen quadrupolbasierten Restgasanalysator mit den für die Gasanalyse auf dem Labortisch erforderlichen Komponenten zur Druckreduzierung, Förderung und Steuerung. Die Modelle UGA120, UGA220 und UGA320 decken Massenbereiche bis 120, 220 bzw. 320 amu ab. Ein zweistufiger Kapillar- und Blenden-Einlass reduziert den Probendruck, bevor das Gas die Hochvakuum-Analysekammer erreicht. Diese Auslegung ermöglicht eine kontinuierliche Probenahme bei geringem Durchfluss mit einer spezifizierten Ansprechzeit von unter 200 ms. Faraday-Becher- und Elektronenvervielfacher-Detektoren unterstützen Messungen von der allgemeinen Gasgemischanalyse bis hin zur Spurenanalytik.

Zu den Anwendungen zählen die Überwachung von Halbleiterabgasen, die Analyse von Handschuhboxen, Untersuchungen an Brennstoffzellen, die Erkennung von Kältemitteln, Fermentationsforschung, Katalyse, Emissionsüberwachung und die Diagnose von Vakuumsystemen. Messungen und Systemfunktionen lassen sich lokal oder über Windows-Software per RS-232C, Ethernet oder ASCII-Befehle steuern. Optionale Mehrpunkt-Probenahme, Trockengas-Belüftung, beheizte Probenführung und Wasserstoffförderung passen das System an unterschiedliche Labor- und Prozessanforderungen an.

Universal-Gasanalysatoren für den Labortisch (UGA)

Eigenschaften

  • Modellvarianten mit 120, 220 oder 320 amu: Wählen Sie den Analysator passend zum höchsten für die Anwendung erforderlichen Masse-Ladungs-Verhältnis.
  • Zweistufiger druckreduzierender Einlass: Unterstützt die kontinuierliche Probenahme und erhält gleichzeitig das für den Quadrupol-Analysator erforderliche Vakuum aufrecht.
  • Ansprechzeit unter 200 ms: Erfasst schnelle Änderungen der Gaszusammensetzung bei Online-Messungen.
  • Detektorsystem mit zwei Detektoren: Faraday-Becher- und Elektronenvervielfacher-Detektoren mit kontinuierlicher Dynode ermöglichen Nachweisgrenzen von unter 10 ppm bzw. unter 1 ppm.
  • Architektur mit zwei Membranpumpen: Trennt den Bypassstrom vom Vorvakuumstrom der Turbopumpe, um Rückströmungen in die Analysekammer zu begrenzen.
  • Integrierte Heizelemente: Heizungen für Kammer und Turbopumpen-Anschluss ermöglichen das Ausheizen des Systems bei Temperaturen bis 120 °C.
  • Lokale und Fernsteuerung: Betreiben Sie das System über das Frontpanel oder integrieren Sie es in automatisierte Test- und Überwachungs­systeme.
  • Flexible Kommunikation: RS-232C, Ethernet und ASCII-Befehle auf hoher Ebene bieten vielfältige Optionen für Software- und Geräteansteuerung.
  • Mehrere Messmodi: Analog-Scans, Histogramm-Scans, Druck-über-Zeit-Überwachung, zeitgesteuerte Datenerfassung und Lecksuche unterstützen vielfältige analytische Aufgaben.
  • Optionaler 16-Kanal-Einlass: Überwacht mit einem Analysator mehrere Probenahmestellen nacheinander.
  • Optionale Wasserstoff-Turbopumpe: Unterstützt kontinuierliche Messungen hoher Wasserstoffkonzentrationen, einschließlich Proben mit bis zu 100 % H₂.
  • Optional beheizter Probenpfad: Hilft, Kondensation bei der Analyse von Wasserdampf und anderen kondensierbaren Spezies zu vermeiden.
  • Horizontaler oder vertikaler Betrieb: Bietet Flexibilität bei der Installation auf Labortischen und in Gerätebereichen.
  • Autarke Lecksuche: Unterstützt Schnüffeltests und Vakuum-Leckprüfungen, ohne dass eine kontinuierliche Computersteuerung erforderlich ist.

Downloads

für Universal-Gasanalysatoren für den Labortisch (UGA)

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UGA Series Product Datasheet
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UGA120, UGA220 and UGA320 Operation Manual and Programming Reference
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UGA100, UGA200 and UGA300 Legacy Operation Manual
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Residual Gas Analysis Basics
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UGA Family Configuration Comparison
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Detailed Legacy UGA System Comparison
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Option 02 Turbo Pump Venting Port Note
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UGA Syngas Monitoring Application Example
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RGA Removal and Pinhole Service Procedure
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Turbo Pump Field Replacement Procedure
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Verfügbare Modellvariationen

Alle verfügbaren Varianten und ein Vergleich ihrer Spezifikationen

Hauptspezifikationen

SpezifikationWert

Produktmodelle

UGA120, UGA220 und UGA320

Gerätetechnologie

Quadrupol-Massenspektrometer mit Restgasanalysator

Massenbereich

UGA120: 1–120 amu; UGA220: 1–220 amu; UGA320: 1–320 amu

Einlasstyp

Kapillaren erhältlich in Edelstahl, PEEK und glasausgekleidetem Kunststoff

Geeigneter Probendruckbereich

Wählbar von 1 × 10⁻⁶ bar bis 1 bar; für hohe Drücke konfigurierte Kapillaren können 10 Torr bis 2 atm oder mehr abdecken

Durchflussrate bei Atmosphärendruck

1–10 mL/min

Ansprechzeit

Weniger als 200 ms

Detektortypen

Faraday-Becher und Elektronenvervielfacher mit kontinuierlicher Dynode

Auflösung

Besser als 0,5 amu bei 10 % der Peakhöhe

Nachweisgrenze des Faraday-Bechers

Weniger als 10 ppm

Nachweisgrenze des Elektronenvervielfachers

Weniger als 1 ppm

Betriebsdruck des Detektors

10⁻⁴ mbar für Faraday-Becher; 10⁻⁶ mbar für Elektronenvervielfacher

Atmosphärischer Einlassanschluss

⅛-Zoll-Ultra-Torr-Anschluss

Zusätzliche Vakuumanschlüsse

Zwei 2¾-Zoll-CF-Anschlüsse

Abluftanschluss

¼-Zoll-Schlauchadapter

Computerschnittstellen

RS-232C über DB-9 und Ethernet über RJ-45

Schnittstelle für Fernbefehle

ASCII-Befehlssatz auf hoher Ebene

Software

Windows-Anwendung zur Steuerung des kompletten Systems und des Restgasanalysators

Messmodi

Analoger Scan, Histogramm-Scan, Druck über der Zeit, Lecksuche und zeitgesteuerte Datenerfassung

Hochvakuumpumpe

Hybride turbomolekulare Schlepppumpe, 81 L/s, Enddruck 2 × 10⁻⁹ mbar

Membranpumpe

Enddruck unter 1 mbar

Schutzart der Pumpe

IP44

Konstruktionsmaterialien

Edelstahl 304 und 316

Isoliermaterialien

Aluminiumoxid und Keramik

Wesentliche Dichtungsmaterialien

Viton, Buna-N, Neopren, Nitril-Butyl-Kautschuk und Kupfer

Weitere Materialien im Gasweg

Molybdän, Aluminium, Glas, Chrom, Silber und Tygon-Schläuche

Anlaufzeit

Ca. 5 Minuten aus dem vollständigen Stillstand

Maximale Umgebungstemperatur im Betrieb

35 °C

Bakeout-Temperatur des Systems

Bis zu 120 °C

Optionaler Bereich der Probenheizung

40–100 °C für die Standard-UGA-Konfiguration

Strom­versorgung

100–240 V AC Eingang, insgesamt unter 600 W

Abmessungen ohne Griffe

28 cm H × 30 cm B × 65 cm T

Abmessungen mit Griffen

33 cm H × 35 cm B × 67,5 cm T

Gewicht

41 kg

Betriebsposition

Horizontal oder vertikal

Produktgarantie

Ein Jahr Gewährleistung auf Material- und Verarbeitungsfehler; für Pumpendichtungen und Membranen gilt eine Gewährleistungsfrist von 90 Tagen

Vergleich der Modellreihen

SpezifikationUGA120UGA220UGA320

Maximaler Massenbereich

120 amu

220 amu

320 amu

Minimale Masse

1 amu

1 amu

1 amu

Detektorkonfiguration

Faraday-Becher und Elektronenvervielfacher

Faraday-Becher und Elektronenvervielfacher

Faraday-Becher und Elektronenvervielfacher

Auflösung

Besser als 0,5 amu

Besser als 0,5 amu

Besser als 0,5 amu

Spezifizierte Ansprechzeit

Weniger als 200 ms

Weniger als 200 ms

Weniger als 200 ms

Vergleich der Konfigurationen der UGA-Familie

SpezifikationUGAUGA LTUGA HTUGA PM

Probendruckbereich

10 Torr bis 2 atm oder höher; kunden­spezifische Konfigurationen über 2 atm

10 Torr bis 2 atm

10 Torr bis 2 atm

1 mTorr bis 20 Torr

Druckreduzierung

Zweistufig: Kapillare und Blende

Zweistufig: Kapillare und Blende

Zweistufig: Kapillare und Blende

Einstufige Kapillare

Primäres Pumpsystem

Doppelte Membranpumpen: separate Bypass- und Vorvakuumpumpen für die Turbopumpe

Gemeinsame einzelne Membranpumpe

Doppelte Membranpumpen: separate Bypass- und Vorvakuumpumpen für die Turbopumpe

Einzelne Vorvakuum-Membranpumpe für die Turbopumpe ohne Bypass-Pumpe

Wasserstoffspezifische Turbopumpe

Optional

Nicht verfügbar

Optional

Standard

Probenventilsystem

Doppelte Proben- und Bypassventile

Doppelte Proben- und Bypassventile

Kontinuierliche Probenahme ohne Ventile

Einzelnes Probenventil, mit optionalem Ventil für die Mehrkanal-Probenahme

Belüftungsventil

Optional

Optional

Optional

Optional

Mehrfacheinlass-Option

16-Kanal-Multiplexer

Nicht verfügbar

Nicht verfügbar

8-Kanal-Multiplexer

Beheizte Kapillare

Optional; Zubehör ausgelegt bis 105 °C, bei Standard-Regeleinstellungen auf 100 °C begrenzt

Nicht verfügbar

Standardmäßig Heizung bis 220 °C

Optionale Heizung bis 105 °C

Ausheizen der Kammer

Bis 120 °C

Nicht verfügbar

Bis 120 °C

Bis 120 °C

Schnüffel-Lecksuchmodus

Verfügbar

Nicht verfügbar

Verfügbar

Nicht verfügbar

FAQs

für Universal-Gasanalysatoren für den Labortisch (UGA)

Wählen Sie das Modell entsprechend dem höchsten Masse-zu-Ladung-Verhältnis, das für die Identifizierung oder Überwachung der Zielgase erforderlich ist. UGA120 misst von 1 bis 120 amu, UGA220 erweitert den Bereich auf 220 amu und UGA320 erreicht 320 amu. Anordnung der Detektoren, Ansprechzeitspezifikation und grundlegende Gasführung sind bei allen drei Systemen ansonsten identisch. Bei der Festlegung des erforderlichen Bereichs sollten Ingenieure sowohl das Molekülion als auch die diagnostisch relevanten Fragmentionen berücksichtigen. Ein größerer Messbereich als aktuell nötig schafft Flexibilität für künftige Anforderungen, allerdings kann das Abtasten zusätzlicher Massenpunkte die Erfassungszeit erhöhen – abhängig von den gewählten Scan-Einstellungen.

Ja, vorausgesetzt, Einlasshardware und Kapillare sind auf den Druck am Probenahmepunkt abgestimmt. Atmosphärische Proben werden über den ⅛-Zoll-Ultra-Torr-Kapillaranschluss mit einem typischen Durchfluss von 1–10 mL/min zugeführt, während zwei zusätzliche 2¾-Zoll-CF-Anschlüsse für Vakuumanwendungen zur Verfügung stehen. Der zweistufige Einlass reduziert den Probendruck, bevor das Gas die Quadrupolkammer erreicht. Dort erfordert der Detektorbetrieb etwa 10⁻⁴ mbar für den Faraday-Becher bzw. 10⁻⁶ mbar für den Elektronenvervielfacher. Kapillarlänge und Innendurchmesser beeinflussen Leitwert, Kammerdruck und Ansprechzeit. Die gesamte Einlasskonfiguration sollte daher auf den zu erwartenden Druckbereich ausgelegt werden und nicht als universeller, uneingeschränkter Anschluss betrachtet werden.

Ja, aber quantitative Analysen erfordern eine Kalibrierung und artspezifische Korrekturen statt einer direkten Interpretation unkorrigierter Peakhöhen. Die angegebenen Nachweisgrenzen liegen beim Faraday-Becher unter 10 ppm und beim Elektronenvervielfacher unter 1 ppm, diese Werte beschreiben jedoch die Empfindlichkeitsgrenzen und nicht die Messgenauigkeit. Fragmentierungsmuster können dazu führen, dass mehrere Gase zum selben Massenpeak beitragen. Deshalb müssen für das tatsächliche Gasgemisch repräsentative Massen und Korrekturfaktoren ausgewählt werden. Die Verstärkung des Elektronenvervielfachers ist massenabhängig und verändert sich im Lauf der Zeit, weshalb eine regelmäßige Neukalibrierung wichtig ist. Vor dem Abgleich oder der Kalibrierung sollte der Analysator unter typischen Betriebsbedingungen mit eingeschaltetem Filament mindestens eine Stunde lang betrieben werden, unter Verwendung eines bekannten Kalibriergases und einer geeigneten Druckreferenz.

Die Architektur mit zwei Membranpumpen ist darauf ausgelegt, die Menge an Bypass-Gas zu reduzieren, die in Richtung Turbopumpe und Analysekammer zurückströmen kann. Das ist beim Umgang mit korrosiven oder niedermolekularen Gasen von Vorteil. Dieses Design ersetzt jedoch nicht die Notwendigkeit einer formalen Prüfung der chemischen Verträglichkeit des gesamten Gaswegs. Zu den exponierten Materialien gehören Edelstahl 304 und 316, Molybdän, Aluminiumoxid, Glas, Aluminium, Kupfer, Viton, Buna-N, Neopren, Nitrilkautschuk und Tygon-Schläuche. Für kontinuierliche Messungen hoher Wasserstoffkonzentrationen ersetzt Option 03 die Standard-Turbopumpe durch eine Version für Moleküle mit geringer Masse und unterstützt Proben mit bis zu 100 % H₂. Gefährliche oder korrosive Abgase müssen zudem einem geeigneten Behandlungs- oder Rückhaltesystem zugeführt werden.

Bei kondensierbaren Proben muss die Einlasstemperatur über die gesamte Kapillare und Probenleitung hinweg oberhalb des jeweiligen Taupunkts bleiben. Das Zubehör O100HC beheizt die Standard-UGA-Kapillare und den Probenweg auf bis zu 100 °C, während Hauptkammer und Turbopumpenanschluss bis auf 120 °C ausgeheizt werden können. Diese Funktionen helfen bei Wasserdampf und anderen Verbindungen, die sonst an inneren Oberflächen adsorbieren oder kondensieren würden. Bleibt die Probe nur bei Temperaturen oberhalb der Standard-Heizgrenze gasförmig, bietet die Konfiguration UGA HT eine Beheizung des Probenwegs bis 220 °C. Ingenieure sollten den gesamten Weg von der Prozessentnahmestelle bis zum Analysator bewerten, da auch ein unbeheiztes Fitting oder Leitungsstück zum Punkt werden kann, an dem Kondensation auftritt.

Das System kann über das Frontpanel oder remote über eine Windows-Anwendung bedient werden. Zu den Computeranschlüssen gehören RS-232C über einen DB-9-Stecker und Ethernet über einen RJ-45-Port, während ein übergeordneter ASCII-Befehlssatz kunden­spezifische Steuerungssoftware unterstützt. Verfügbare Messfunktionen umfassen analoge und Histogramm-Scans, Druck-gegen-Zeit-Darstellungen für ausgewählte Massen, Lecksuche, zeitgesteuerte Datenerfassung und eine Gasbibliothek. Die Software kann außerdem Pumpen, Ventile und Heizungen steuern und dabei Systemdruck- und Temperaturinformationen aufzeichnen. Mit dem optionalen 16-Kanal-Einlass lassen sich Probenkanäle während einer programmierten Scan-Sequenz umschalten, sodass mehrere Prozesspunkte oder Versuchskammern mit nur einem Analysator überwacht werden können.

Die Auswahl sollte sich nach Probenführung, Dampftemperatur, Wasserstoffkonzentration und der erwarteten Häufigkeit von Vakuumzyklen richten. Option 01 ergänzt einen 16-Kanal-Verteiler für die Mehrpunkt-Probenahme, während Option 02 eine kontrollierte Belüftung der Turbopumpe über eine 150-µm-Öffnung mit einem ausgewählten Trockengas hinzufügt. Option 03 ersetzt die normale Turbopumpe durch eine Version für die kontinuierliche Probenahme mit hohen Wasserstoffkonzentrationen. Das Zubehör O100HC beheizt Kapillare und interne Probenleitung, um Kondensation bei Anwendungen mit einem einzelnen Einlass zu reduzieren. Die Optionen für Mehrfacheinlass und Belüftungsventil können separat ergänzt werden, während der Austausch gegen eine Wasserstoff-Turbopumpe eher als spezieller Serviceeinsatz und nicht als routinemäßige Feldmodifikation betrachtet werden sollte.

Der Analysator wiegt etwa 41 kg. Deshalb sollte er von zwei Personen angehoben werden und während des Betriebs nicht bewegt werden. Eine Zwangsluftkühlung ist erforderlich, der hintere Lufteinlass und die Abluftöffnung müssen frei bleiben, und die Umgebungstemperatur im Betrieb darf 35 °C nicht überschreiten. Die elektrische Versorgung sollte 100–240 V AC unterstützen, bei einer Gesamtleistungsaufnahme von unter 600 W. Das Gehäuse kann horizontal oder vertikal verwendet werden, sofern Anschlüsse, Belüftung und mechanische Abstützung geeignet bleiben. Gefährliche Probenabgase müssen über den ¼-Zoll-Abluftanschluss erfasst werden und dürfen nicht in den Arbeitsbereich abgegeben werden. Silikonfette und -öle sollten nicht an den Vakuumdichtungen verwendet werden, da Silikon das Glas im Elektronenvervielfacher irreversibel beeinträchtigen kann.