universele gasanalysatoren voor op de werkbank (UGA)

Het UGA-assortiment combineert een quadrupool-residugasanalysator met de drukverlagings-, pomp- en regelcomponenten die nodig zijn voor gasanalyse op een tafelmodel. De modellen UGA120, UGA220 en UGA320 dekken massabereiken tot respectievelijk 120, 220 en 320 amu. Een tweetraps inlaat met capillair en pinhole verlaagt de monstdruk voordat het gas de hoogvacuüm-analyskamer bereikt. Deze configuratie maakt continue monstername met lage flow mogelijk, met een gespecificeerde responstijd van minder dan 200 ms. Faraday cup- en elektronmultiplierdetectoren ondersteunen metingen van algemene analyse van gasmengsels tot detectie op sporenniveau.

Toepassingen zijn onder meer monitoring van uitlaatgassen in de halfgeleiderindustrie, glovebox-analyse, onderzoek aan brandstofcellen, detectie van koelmiddelen, fermentatieonderzoek, katalyse, monitoring van vervuiling en diagnose van vacuümsystemen. Metingen en systeemfuncties kunnen lokaal of via Windows-software worden aangestuurd met RS-232C, Ethernet of ASCII-commando’s. Optionele multipointmonstername, ontluchting met droog gas, verwarmde monsterbehandeling en waterstofpompen stemmen het systeem af op uiteenlopende laboratorium- en proceseisen.

universele gasanalysatoren voor op de werkbank (UGA)

Bereikfuncties

Een algemeen overzicht van wat dit bereik te bieden heeft

  • Modelreeksen van 120, 220 of 320 amu: Stem de analysator af op de hoogste massa-ladingsverhouding die de toepassing vereist.
  • Tweetraps drukverlagende inlaat: Ondersteunt continue bemonstering terwijl het vacuüm dat de quadrupoolanalysator nodig heeft behouden blijft.
  • Responstijd korter dan 200 ms: Volgt snelle veranderingen in de gassamenstelling tijdens online metingen.
  • Dubbel detectorsysteem: Faraday-cup- en continuous-dynode-elektronenvermenigvuldigerdetectoren bieden detectielimieten van respectievelijk minder dan 10 ppm en minder dan 1 ppm.
  • Architectuur met dubbele membraanpomp: Scheidt de bypassstroom van de backing flow van de turbopomp om terugstroming naar de analysekamer te helpen beperken.
  • Ingebouwde verwarmingselementen: Verwarming van de kamer en de turbopompconnector maakt bake-out van het systeem mogelijk bij temperaturen tot 120 °C.
  • Lokale en externe bediening: Bedien het systeem via het frontpaneel of integreer het in geautomatiseerde test- en bewakingssystemen.
  • Flexibele communicatie: RS-232C, Ethernet en hoogwaardige ASCII-opdrachten bieden meerdere opties voor software- en instrumentbesturing.
  • Meerdere meetmodi: Analoge scans, histogramscans, druk-in-de-tijd-bewaking, geplande gegevensverzameling en lekdetectie ondersteunen uiteenlopende analytische taken.
  • Optionele 16-kanaals inlaat: Bewaakt sequentieel meerdere bemonsteringslocaties met één analysator.
  • Optionele waterstof-turbopomp: Ondersteunt continue metingen van hoge waterstofconcentraties, inclusief monsters met tot 100% H₂.
  • Optioneel verwarmd monstertraject: Helpt condensatie te voorkomen bij de analyse van waterdamp en andere condenseerbare componenten.
  • Horizontale of verticale werking: Biedt flexibiliteit bij installatie op laboratoriumbanken en in apparatuurzones.
  • Zelfstandige lekdetectie: Ondersteunt sniffing en vacuümlekonderzoek zonder dat continue computerbesturing nodig is.

Downloads

voor universele gasanalysatoren voor op de werkbank (UGA)

pdf
UGA Series Product Datasheet
Downloaden
pdf
UGA120, UGA220 and UGA320 Operation Manual and Programming Reference
Downloaden
pdf
UGA100, UGA200 and UGA300 Legacy Operation Manual
Downloaden
pdf
Residual Gas Analysis Basics
Downloaden
pdf
UGA Family Configuration Comparison
Downloaden
pdf
Detailed Legacy UGA System Comparison
Downloaden
pdf
Option 02 Turbo Pump Venting Port Note
Downloaden
pdf
UGA Syngas Monitoring Application Example
Downloaden
pdf
RGA Removal and Pinhole Service Procedure
Downloaden
pdf
Turbo Pump Field Replacement Procedure
Downloaden

Wat zit er in dit assortiment?

Alle varianten in het assortiment en een vergelijking van wat ze bieden

Belangrijkste specificaties

SpecificatieWaarde

Productmodellen

UGA120, UGA220 en UGA320

Instrumenttechnologie

Quadrupool-massaspectrometer met residugasanalysator

Massabereik

UGA120: 1–120 amu; UGA220: 1–220 amu; UGA320: 1–320 amu

Type inlaat

Capillairen verkrijgbaar in roestvast staal, PEEK en met glas bekleed kunststof

Geschikt monstdrukbereik

Selecteerbaar van 1 × 10⁻⁶ bar tot 1 bar; geconfigureerde hogedrukcapillairen kunnen 10 Torr tot 2 atm of hoger afdekken

Flow bij atmosferische druk

1–10 mL/min

Responstijd

Minder dan 200 ms

Detectortypen

Faraday cup en continue-dynode-elektronmultiplier

Resolutie

Beter dan 0,5 amu bij 10% van de piekhoogte

Detectielimiet Faraday cup

Minder dan 10 ppm

Detectielimiet elektronmultiplier

Minder dan 1 ppm

Werkdruk van detector

10⁻⁴ mbar voor Faraday-beker; 10⁻⁶ mbar voor elektronenvermenigvuldiger

Atmosferische inlaataansluiting

⅛-inch Ultra-Torr-aansluiting

Extra vacuümaansluitingen

Twee 2¾-inch CF-poorten

Uitlaataansluiting

¼-inch buisadapter

Computerinterfaces

RS-232C via DB-9 en Ethernet via RJ-45

Interface voor externe opdrachten

ASCII-opdrachtenset op hoog niveau

Software

Windows-applicatie voor de besturing van het complete systeem en de residual gas analyser

Meetmodi

Analoge scan, histogramscan, druk als functie van de tijd, lekdetectie en geplande gegevensverwerving

Hoogvacuümpomp

Hybride turbomoleculaire-/sleep-pomp, 81 L/s, einddruk 2 × 10⁻⁹ mbar

Membraanpomp

Einddruk onder 1 mbar

Beschermingsklasse van pomp

IP44

Constructiematerialen

304 en 316 roestvast staal

Isolatiematerialen

Aluminiumoxide en keramiek

Belangrijkste afdichtingsmaterialen

Viton, Buna-N, neopreen, nitrilbutylrubber en koper

Overige materialen in het gaspad

Molybdeen, aluminium, glas, chroom, zilver en Tygon-slangen

Opstarttijd

Ongeveer 5 minuten vanuit volledig stilstand

Maximale omgevingstemperatuur tijdens bedrijf

35 °C

Bake-outtemperatuur van systeem

Tot 120 °C

Bereik van optionele monsterverwarming

40–100 °C voor de standaard UGA-configuratie

Voedingsvereiste

100–240 V AC ingang, in totaal minder dan 600 W

Afmetingen zonder handgrepen

28 cm H × 30 cm B × 65 cm D

Afmetingen met handgrepen

33 cm H × 35 cm B × 67.5 cm D

Gewicht

41 kg

Bedrijfsoriëntatie

Horizontaal of verticaal

Productgarantie

Eén jaar garantie op materiaal- en fabricagefouten; op pompafdichtingen en membranen geldt een garantie van 90 dagen

Vergelijking van modelreeksen

SpecificatieUGA120UGA220UGA320

Maximaal massabereik

120 amu

220 amu

320 amu

Minimale massa

1 amu

1 amu

1 amu

Detectorconfiguratie

Faraday cup en elektronenvermenigvuldiger

Faraday cup en elektronenvermenigvuldiger

Faraday cup en elektronenvermenigvuldiger

Resolutie

Beter dan 0,5 amu

Beter dan 0,5 amu

Beter dan 0,5 amu

Opgegeven responstijd

Minder dan 200 ms

Minder dan 200 ms

Minder dan 200 ms

Vergelijking van configuraties binnen de UGA-familie

SpecificatieUGAUGA LTUGA HTUGA PM

Bereik van de monst druk

10 Torr tot 2 atm of hoger; klantspecifieke configuraties boven 2 atm

10 Torr tot 2 atm

10 Torr tot 2 atm

1 mTorr tot 20 Torr

Drukverlaging

Twee trappen: capillair en pinhole

Twee trappen: capillair en pinhole

Twee trappen: capillair en pinhole

Capillair met één trap

Primair pompsysteem

Dubbele membraanpompen: aparte bypass- en backingpompen voor de turbopomp

Gedeelde enkele membraanpomp

Dubbele membraanpompen: aparte bypass- en backingpompen voor de turbopomp

Enkele backingmembraanpomp voor de turbopomp zonder bypasspomp

Waterstofspecifieke turbopomp

Optioneel

Niet beschikbaar

Optioneel

Standaard

Monsternameklepsysteem

Dubbele monstername- en bypasskleppen

Dubbele monstername- en bypasskleppen

Continue monstername zonder kleppen

Enkele monsternameklep, met optionele klep voor meerkanaals monstername

Ontluchtingsklep

Optioneel

Optioneel

Optioneel

Optioneel

Meerdere-inlatenoptie

16-kanaals multiplexer

Niet beschikbaar

Niet beschikbaar

Achtkanaals multiplexer

Verwarmde capillair

Optioneel; accessoire geschikt tot 105 °C, met standaard regelinstellingen beperkt tot 100 °C

Niet beschikbaar

Verwarming tot 220 °C standaard

Optionele verwarming tot 105 °C

Uitbakken van de kamer

Tot 120 °C

Niet beschikbaar

Tot 120 °C

Tot 120 °C

Lekdetectiemodus voor sniffing

Beschikbaar

Niet beschikbaar

Beschikbaar

Niet beschikbaar

Veelgestelde vragen

voor universele gasanalysatoren voor op de werkbank (UGA)

Kies het model op basis van de hoogste massa-ladingsverhouding die nodig is om de doelgassen te identificeren of te bewaken. De UGA120 meet van 1 tot 120 amu, de UGA220 breidt het bereik uit tot 220 amu en de UGA320 gaat tot 320 amu. De detectorconfiguratie, responsspecificatie en de basisarchitectuur voor gashantering zijn verder gelijk voor alle drie de systemen. Bij het bepalen van het vereiste bereik moeten engineers zowel rekening houden met het molecuulion als met de diagnostisch bruikbare fragmentionen. Kiezen voor een groter bereik dan strikt nodig biedt flexibiliteit voor de toekomst, al kan het scannen van meer massapunten de acquisitietijd verlengen, afhankelijk van de gekozen scaninstellingen.

Ja, mits de inlaathardware en capillair worden gekozen op basis van de druk op het monsternamepunt. Atmosferische monsters komen binnen via de ⅛-inch Ultra-Torr-capillaaraansluiting met een typische flow van 1–10 mL/min, terwijl twee extra 2¾-inch CF-poorten toegang bieden voor vacuümtoepassingen. De tweetrapsinlaat verlaagt de monstdruk voordat deze de quadrupoolkamer bereikt, waar voor detectorwerking ongeveer 10⁻⁴ mbar nodig is voor de Faraday cup of 10⁻⁶ mbar voor de elektronenvermenigvuldiger. De lengte en binnendiameter van het capillair beïnvloeden de conductantie, kamerdruk en responstijd. De volledige inlaatconfiguratie moet daarom worden gedimensioneerd op basis van het verwachte drukbereik en niet worden beschouwd als een universele, onbeperkte aansluiting.

Ja, maar voor kwantitatieve metingen zijn kalibratie en soortspecifieke correctie nodig, in plaats van een directe interpretatie van ongecorrigeerde piekhoogten. De opgegeven detectielimieten liggen onder 10 ppm met de Faraday cup en onder 1 ppm met de elektronenvermenigvuldiger, maar dit zijn gevoeligheidslimieten en geen nauwkeurigheidsspecificaties. Fragmentatiepatronen kunnen ertoe leiden dat meerdere gassen bijdragen aan dezelfde massapiek, waardoor voor het werkelijke gasmengsel representatieve massa’s en correctiefactoren moeten worden gekozen. De versterking van de elektronenvermenigvuldiger is massa-afhankelijk en verandert in de loop van de tijd, waardoor periodieke herkalibratie belangrijk is. Voor het afregelen of kalibreren moet de analysator onder typische omstandigheden minimaal één uur hebben gedraaid met het filament ingeschakeld, met gebruik van een bekend kalibratiegas en een geschikte drukreferentie.

De architectuur met dubbele membraanpomp is ontworpen om de hoeveelheid bypassgas te verminderen die kan terugstromen naar de turbopomp en analysekamer, wat nuttig is bij de verwerking van corrosieve gassen of gassen met een lage massa. Dit ontwerp neemt de noodzaak van een formele chemische compatibiliteitsbeoordeling van het volledige gastraject niet weg. Blootgestelde materialen zijn onder meer 304 en 316 roestvast staal, molybdeen, aluminiumoxide, glas, aluminium, koper, Viton, Buna-N, neopreen, nitrilrubber en Tygon-slangen. Voor continue metingen van hoge waterstofconcentraties vervangt Optie 03 de standaard turbopomp door een versie die is ontworpen voor moleculen met een lage massa en geschikt is voor monsters met tot 100% H₂. Gevaarlijke of corrosieve uitlaatgassen moeten bovendien worden afgevoerd naar een geschikt behandelings- of opvangsysteem.

Bij condenseerbare monsters moet de inlaattemperatuur over de volledige lengte van het capillair en de monsterleiding boven het relevante dauwpunt blijven. Het O100HC-accessoire verwarmt het standaard UGA-capillair en het monstertraject tot 100 °C, terwijl de hoofdkamer en de turbopompconnector kunnen worden uitgebrand tot 120 °C. Deze functies kunnen helpen bij waterdamp en andere verbindingen die anders aan interne oppervlakken zouden adsorberen of condenseren. Als het monster alleen gasvormig blijft bij temperaturen boven de standaard verwarmingslimiet, biedt de UGA HT-configuratie verwarming van het monstertraject tot 220 °C. Engineers moeten het volledige traject van de procesaftakking tot aan de analysator beoordelen, omdat een onverwarmde koppeling of overdrachtssectie nog steeds het punt kan zijn waar condensatie optreedt.

Het systeem kan worden bediend via het frontpaneel of op afstand via een Windows-applicatie. Computeraansluitingen omvatten RS-232C via een DB-9-connector en Ethernet via een RJ-45-poort, terwijl een high-level ASCII-commandoset ondersteuning biedt voor besturingssoftware op maat. Beschikbare meetfuncties zijn onder meer analoge en histogramscans, druk-tegen-tijd-grafieken voor geselecteerde massa’s, lekdetectie, geplande acquisitie en een gasbibliotheek. De software kan ook pompen, kleppen en verwarmingen aansturen en tegelijk systeemdruk- en temperatuurgegevens registreren. Met de optionele 16-kanaals inlaat kunnen monsternamekanalen tijdens een geprogrammeerde scansequentie worden gewisseld, zodat meerdere proceslocaties of experimentele kamers met één analysator kunnen worden bewaakt.

De keuze moet worden gebaseerd op de monsterroutering, damptemperatuur, waterstofconcentratie en de verwachte frequentie van vacuümcycli. Optie 01 voegt een 16-kanaals manifold toe voor multipoint-monstername, terwijl Optie 02 gecontroleerde ontluchting van de turbopomp toevoegt via een opening van 150 µm met gebruik van een geselecteerd droog gas. Optie 03 vervangt de standaard turbopomp door een versie die bedoeld is voor continue monstername bij hoge waterstofconcentraties. Het O100HC-accessoire verwarmt het capillair en de interne monsterleiding om condensatie te verminderen bij toepassingen met één inlaat. De opties voor meerdere inlaten en ontluchtingsklep kunnen afzonderlijk worden toegevoegd, terwijl de vervanging door een waterstof-turbopomp beter als een speciale service-ingreep kan worden behandeld dan als een routinematige veldmodificatie.

De analysator weegt ongeveer 41 kg, daarom moet hij door twee personen worden opgetild en mag hij tijdens bedrijf niet worden verplaatst. Geforceerde luchtkoeling is vereist, de luchtinlaat en uitlaat aan de achterzijde moeten vrij blijven en de omgevingstemperatuur tijdens bedrijf mag niet hoger zijn dan 35 °C. De elektrische voorziening moet geschikt zijn voor 100–240 V AC en een totaal opgenomen vermogen van minder dan 600 W. De behuizing kan horizontaal of verticaal worden gebruikt, mits aansluitingen, ventilatie en mechanische ondersteuning geschikt blijven. Gevaarlijke monsteruitlaat moet via de ¼-inch uitlaataansluiting worden afgevangen en mag niet in de werkruimte worden vrijgegeven. Siliconenvetten en -oliën mogen niet op de vacuümafdichtingen worden gebruikt, omdat siliconen het glas in de elektronenvermenigvuldiger onherstelbaar kunnen aantasten.