analyseurs universels de gaz de paillasse (UGA)

La gamme UGA associe un analyseur de gaz résiduels quadripolaire aux composants de réduction de pression, de pompage et de commande nécessaires à l’analyse de gaz sur paillasse. Les modèles UGA120, UGA220 et UGA320 couvrent respectivement des plages de masse allant jusqu’à 120, 220 et 320 amu. Une entrée capillaire et à orifice en deux étages abaisse la pression de l’échantillon avant que le gaz n’atteigne la chambre d’analyse sous vide poussé. Cette configuration permet un échantillonnage continu à faible débit, avec un temps de réponse spécifié inférieur à 200 ms. Les détecteurs à coupe de Faraday et à multiplicateur d’électrons prennent en charge des mesures allant de l’analyse générale des mélanges gazeux à la détection de traces.

Les applications incluent la surveillance des effluents de semi-conducteurs, l’analyse de boîtes à gants, les études sur les piles à combustible, la détection de fluides frigorigènes, la recherche sur la fermentation, la catalyse, la surveillance de la pollution et le diagnostic des systèmes sous vide. Les mesures et les fonctions du système peuvent être pilotées localement ou via un logiciel Windows à l’aide de commandes RS-232C, Ethernet ou ASCII. Des options d’échantillonnage multipoint, de mise à l’air avec gaz sec, de gestion chauffée des échantillons et de pompage de l’hydrogène permettent d’adapter le système aux différentes exigences de laboratoire et de procédé.

analyseurs universels de gaz de paillasse (UGA)

Caractéristiques de la gamme

Un aperçu général de ce que cette gamme offre

  • Plages de modèles 120, 220 ou 320 amu : adaptez l’analyseur au rapport masse/charge maximal requis par l’application.
  • Entrée à réduction de pression en deux étages : permet un échantillonnage continu tout en maintenant le vide nécessaire à l’analyseur quadripolaire.
  • Temps de réponse inférieur à 200 ms : suit les variations rapides de la composition des gaz lors des mesures en ligne.
  • Système de détection double : les détecteurs à coupelle de Faraday et multiplicateur d’électrons à dynode continue offrent des limites de détection respectivement inférieures à 10 ppm et à 1 ppm.
  • Architecture à double pompe à membrane : sépare le flux de dérivation du flux de refoulement de la turbopompe afin de limiter les remontées de gaz vers la chambre d’analyse.
  • Chauffages intégrés : les chauffages de la chambre et du raccord de turbopompe permettent le dégazage à chaud du système à des températures allant jusqu’à 120 °C.
  • Commande locale et à distance : utilisez le système depuis le panneau avant ou intégrez-le à des systèmes automatisés de test et de surveillance.
  • Communications flexibles : RS-232C, Ethernet et commandes ASCII de haut niveau offrent plusieurs options de logiciel et de pilotage des instruments.
  • Multiples modes de mesure : balayages analogiques, balayages en histogramme, surveillance de la pression en fonction du temps, acquisition planifiée et détection de fuites prennent en charge diverses tâches analytiques.
  • Entrée 16 canaux en option : surveille séquentiellement plusieurs points d’échantillonnage avec un seul analyseur.
  • Turbopompe hydrogène en option : prend en charge les mesures continues de fortes concentrations d’hydrogène, y compris pour des échantillons contenant jusqu’à 100 % de H₂.
  • Ligne d’échantillon chauffée en option : aide à éviter la condensation lors de l’analyse de vapeur d’eau et d’autres espèces condensables.
  • Fonctionnement horizontal ou vertical : offre une grande souplesse d’installation sur les paillasses de laboratoire et dans les zones d’équipement.
  • Détection de fuites autonome : prend en charge les recherches de fuites par reniflage et sous vide sans nécessiter de pilotage informatique continu.

Téléchargements

pour analyseurs universels de gaz de paillasse (UGA)

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UGA Series Product Datasheet
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UGA120, UGA220 and UGA320 Operation Manual and Programming Reference
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UGA100, UGA200 and UGA300 Legacy Operation Manual
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Residual Gas Analysis Basics
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UGA Family Configuration Comparison
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Detailed Legacy UGA System Comparison
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Option 02 Turbo Pump Venting Port Note
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UGA Syngas Monitoring Application Example
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RGA Removal and Pinhole Service Procedure
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Turbo Pump Field Replacement Procedure
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Qu’est-ce qu’il y a dans cette gamme ?

Toutes les variantes de la gamme et une comparaison de ce qu’elles offrent

Caractéristiques principales

CaractéristiqueValeur

Modèles de produit

UGA120, UGA220 et UGA320

Technologie de l’instrument

Spectromètre de masse quadripolaire avec analyseur de gaz résiduels

Plage de masse

UGA120 : 1–120 amu ; UGA220 : 1–220 amu ; UGA320 : 1–320 amu

Type d’entrée

Capillaires disponibles en acier inoxydable, PEEK et plastique revêtu de verre

Capacité de pression de l’échantillon

Sélectionnable de 1 × 10⁻⁶ bar à 1 bar ; les capillaires haute pression configurés peuvent couvrir de 10 Torr à 2 atm ou plus

Débit à pression atmosphérique

1–10 mL/min

Temps de réponse

Inférieur à 200 ms

Types de détecteurs

Coupe de Faraday et multiplicateur d’électrons à dynode continue

Résolution

Meilleure que 0,5 amu à 10 % de la hauteur du pic

Limite de détection de la coupe de Faraday

Inférieure à 10 ppm

Limite de détection du multiplicateur d’électrons

Moins de 1 ppm

Pression de fonctionnement du détecteur

10⁻⁴ mbar pour la coupe de Faraday ; 10⁻⁶ mbar pour le multiplicateur d’électrons

Raccord d’entrée atmosphérique

Raccord Ultra-Torr de ⅛ pouce

Raccordements au vide supplémentaires

Deux ports CF de 2¾ pouces

Raccordement d’échappement

Adaptateur pour tube de ¼ pouce

Interfaces informatiques

RS-232C via DB-9 et Ethernet via RJ-45

Interface de commande à distance

Jeu de commandes ASCII de haut niveau

Logiciel

Application Windows pilotant l’ensemble du système et l’analyseur de gaz résiduels

Modes de mesure

Balayage analogique, balayage en histogramme, pression en fonction du temps, détection de fuites et acquisition planifiée

Pompe à vide poussé

Pompe hybride turbomoléculaire/à traînée, 81 L/s, pression limite de 2 × 10⁻⁹ mbar

Pompe à membrane

Pression limite inférieure à 1 mbar

Indice de protection de la pompe

IP44

Matériaux de construction

Acier inoxydable 304 et 316

Matériaux isolants

Alumine et céramique

Principaux matériaux d’étanchéité

Viton, Buna-N, néoprène, caoutchouc nitrile-butyle et cuivre

Autres matériaux du circuit de gaz

Molybdène, aluminium, verre, chrome, argent et tube Tygon

Temps de démarrage

Environ 5 minutes à partir d’un arrêt complet

Température ambiante maximale de fonctionnement

35 °C

Température de dégazage du système

Jusqu’à 120 °C

Plage optionnelle du chauffage d’échantillon

40–100 °C pour la configuration UGA standard

Alimentation électrique requise

Entrée 100–240 V AC, moins de 600 W au total

Dimensions sans poignées

28 cm H × 30 cm l × 65 cm P

Dimensions avec poignées

33 cm H × 35 cm l × 67.5 cm P

Poids

41 kg

Orientation de fonctionnement

Horizontale ou verticale

Garantie du produit

Garantie d’un an contre les défauts de matériaux et de fabrication ; les joints et membranes de pompe sont couverts par une garantie de 90 jours

Comparaison des gammes de modèles

CaractéristiqueUGA120UGA220UGA320

Plage de masse maximale

120 amu

220 amu

320 amu

Masse minimale

1 amu

1 amu

1 amu

Configuration du détecteur

Coupelle de Faraday et multiplicateur d’électrons

Coupelle de Faraday et multiplicateur d’électrons

Coupelle de Faraday et multiplicateur d’électrons

Résolution

Supérieure à 0,5 amu

Supérieure à 0,5 amu

Supérieure à 0,5 amu

Temps de réponse spécifié

Inférieur à 200 ms

Inférieur à 200 ms

Inférieur à 200 ms

Comparaison des configurations de la famille UGA

CaractéristiqueUGAUGA LTUGA HTUGA PM

Plage de pression de l’échantillon

10 Torr à 2 atm ou plus ; configurations spécifiques au client au-delà de 2 atm

10 Torr à 2 atm

10 Torr à 2 atm

1 mTorr à 20 Torr

Réduction de pression

Deux étages : capillaire et orifice

Deux étages : capillaire et orifice

Deux étages : capillaire et orifice

Capillaire à un seul étage

Système de pompage principal

Deux pompes à membrane : pompe de dérivation et pompe de soutien de la turbopompe séparées

Pompe à membrane unique partagée

Deux pompes à membrane : pompe de dérivation et pompe de soutien de la turbopompe séparées

Pompe à membrane unique de soutien de la turbopompe, sans pompe de dérivation

Turbopompe spécifique à l’hydrogène

En option

Non disponible

En option

Standard

Système de vannes d’échantillonnage

Double vanne d’échantillonnage et de dérivation

Double vanne d’échantillonnage et de dérivation

Échantillonnage continu sans vannes

Vanne d’échantillonnage unique, avec vanne en option pour l’échantillonnage multicanal

Vanne de mise à l’air

En option

En option

En option

En option

Option entrées multiples

Multiplexeur 16 canaux

Non disponible

Non disponible

Multiplexeur 8 canaux

Capillaire chauffé

En option ; accessoire prévu jusqu’à 105 °C, avec des réglages de commande standard limités à 100 °C

Non disponible

Chauffage jusqu’à 220 °C de série

Chauffage en option jusqu’à 105 °C

Étuvage de la chambre

Jusqu’à 120 °C

Non disponible

Jusqu’à 120 °C

Jusqu’à 120 °C

Mode de détection de fuite par reniflage

Disponible

Non disponible

Disponible

Non disponible

FAQs

pour analyseurs universels de gaz de paillasse (UGA)

Choisissez le modèle en fonction du rapport masse/charge le plus élevé nécessaire pour identifier ou surveiller les gaz cibles. L’UGA120 mesure de 1 à 120 amu, l’UGA220 étend la plage jusqu’à 220 amu et l’UGA320 atteint 320 amu. La configuration des détecteurs, les spécifications de réponse et l’architecture de base du traitement des gaz sont par ailleurs communes aux trois systèmes. Pour définir la plage requise, les ingénieurs doivent prendre en compte à la fois l’ion moléculaire et les ions fragments utiles au diagnostic. Opter pour une plage plus large que nécessaire offre davantage de flexibilité pour l’avenir, même si l’analyse d’un plus grand nombre de points de masse peut allonger le temps d’acquisition selon les paramètres de balayage choisis.

Oui, à condition que le matériel d’entrée et le capillaire soient adaptés à la pression au point d’échantillonnage. Les échantillons à pression atmosphérique entrent par le raccord capillaire Ultra-Torr de ⅛ pouce, avec un débit typique de 1 à 10 mL/min, tandis que deux ports CF supplémentaires de 2¾ pouces permettent les applications sous vide. L’entrée à deux étages réduit la pression de l’échantillon avant qu’il n’atteigne la chambre quadripolaire, où le fonctionnement du détecteur nécessite environ 10⁻⁴ mbar pour la coupe de Faraday ou 10⁻⁶ mbar pour le multiplicateur d’électrons. La longueur et le diamètre interne du capillaire influencent la conductance, la pression dans la chambre et le temps de réponse. L’ensemble du système d’entrée doit donc être dimensionné en fonction de la plage de pression attendue et non considéré comme un raccord universel sans restriction.

Oui, mais les mesures quantitatives nécessitent un étalonnage et des corrections spécifiques aux espèces, plutôt qu’une interprétation directe des hauteurs de pic non corrigées. Les limites de détection annoncées sont inférieures à 10 ppm avec la coupe de Faraday et à 1 ppm avec le multiplicateur d’électrons, mais ces valeurs correspondent à des seuils de sensibilité et non à des spécifications de précision. Les schémas de fragmentation peuvent conduire plusieurs gaz à contribuer au même pic de masse ; il faut donc sélectionner des masses représentatives et des facteurs de correction adaptés au mélange gazeux réel. Le gain du multiplicateur d’électrons dépend de la masse et évolue dans le temps, ce qui rend un réétalonnage périodique important. Avant tout réglage fin ou étalonnage, l’analyseur doit fonctionner dans des conditions typiques avec le filament allumé pendant au moins une heure, en utilisant un gaz d’étalonnage connu et une référence de pression appropriée.

L’architecture à double pompe à membrane est conçue pour réduire la quantité de gaz de dérivation susceptible de refluer vers la turbopompe et la chambre d’analyse, ce qui est utile pour le traitement de gaz corrosifs ou de faible masse. Cette conception ne dispense pas d’une vérification formelle de la compatibilité chimique de l’ensemble du circuit de gaz. Les matériaux exposés comprennent l’acier inoxydable 304 et 316, le molybdène, l’alumine, le verre, l’aluminium, le cuivre, le Viton, le Buna-N, le néoprène, le caoutchouc nitrile et les tubes Tygon. Pour les mesures continues d’hydrogène à forte concentration, l’option 03 remplace la turbopompe standard par une version conçue pour les molécules de faible masse et prend en charge des échantillons contenant jusqu’à 100 % de H₂. Les effluents dangereux ou corrosifs doivent également être dirigés vers un système approprié de traitement ou de confinement.

Pour les échantillons condensables, la température d’entrée doit rester au-dessus du point de rosée correspondant sur toute la longueur du capillaire et de la ligne d’échantillonnage. L’accessoire O100HC chauffe le capillaire standard de l’UGA et le circuit d’échantillonnage jusqu’à 100 °C, tandis que la chambre principale et le raccord de turbopompe peuvent être étuvés jusqu’à 120 °C. Ces fonctions peuvent aider à gérer la vapeur d’eau et d’autres composés qui, sinon, s’adsorberaient ou se condenseraient sur les surfaces internes. Si l’échantillon ne reste gazeux qu’à des températures supérieures à la limite du chauffage standard, la configuration UGA HT permet de chauffer le circuit d’échantillonnage jusqu’à 220 °C. Les ingénieurs doivent évaluer l’ensemble du trajet depuis le point de prélèvement du procédé jusqu’à l’analyseur, car un raccord ou une section de transfert non chauffé peut malgré tout devenir le point de condensation.

Le système peut être piloté depuis son panneau avant ou à distance via une application Windows. Les connexions informatiques comprennent le RS-232C via un connecteur DB-9 et Ethernet via un port RJ-45, tandis qu’un jeu de commandes ASCII de haut niveau prend en charge les logiciels de commande personnalisés. Les fonctions de mesure disponibles comprennent les balayages analogiques et histogrammes, les courbes pression/temps à masse sélectionnée, la détection de fuites, l’acquisition programmée et une bibliothèque de gaz. Le logiciel peut également piloter les pompes, les vannes et les chauffages tout en enregistrant les informations de pression et de température du système. Avec l’entrée optionnelle à 16 canaux, il est possible de changer de canal d’échantillonnage pendant une séquence de balayage programmée, ce qui permet de surveiller plusieurs points du procédé ou chambres expérimentales avec un seul analyseur.

Le choix doit se baser sur le routage de l’échantillon, la température des vapeurs, la concentration d’hydrogène et la fréquence attendue des cycles de vide. L’option 01 ajoute un collecteur à 16 canaux pour l’échantillonnage multipoint, tandis que l’option 02 ajoute une mise à l’air contrôlée de la turbopompe à travers un orifice de 150 µm à l’aide d’un gaz sec sélectionné. L’option 03 remplace la turbopompe standard par une version destinée à l’échantillonnage continu d’hydrogène à forte concentration. L’accessoire O100HC chauffe le capillaire et la ligne d’échantillonnage interne afin de réduire la condensation dans les applications à entrée unique. Les options d’entrées multiples et de vanne de mise à l’air peuvent être ajoutées séparément, tandis que le remplacement par une turbopompe hydrogène doit plutôt être considéré comme une opération de service dédiée que comme une modification de terrain de routine.

L’analyseur pèse environ 41 kg ; il doit donc être manipulé par deux personnes et ne doit pas être déplacé pendant son fonctionnement. Un refroidissement par air forcé est nécessaire, l’entrée et la sortie d’air à l’arrière doivent rester dégagées, et la température ambiante de fonctionnement ne doit pas dépasser 35 °C. L’alimentation électrique doit être compatible avec 100–240 V AC pour une consommation totale inférieure à 600 W. Le boîtier peut être utilisé à l’horizontale ou à la verticale, à condition que les raccordements, la ventilation et le support mécanique restent adaptés. Les effluents dangereux de l’échantillon doivent être captés par le raccord d’échappement de ¼ pouce et non rejetés dans la zone de travail. Les graisses et huiles silicones ne doivent pas être utilisées sur les joints de vide, car le silicone peut altérer de manière irréversible le verre à l’intérieur du multiplicateur d’électrons.