Platines motorisées XY pour microscope ProScan

Choisissez la course en tenant compte de la zone d’imagerie totale, du porte-échantillon et du dégagement nécessaire autour du spécimen. Les configurations H101A et H117 offrent une course d’environ 114 × 76 mm pour les plaques multipuits et les échantillons de microscopie générale, tandis que la H138A porte la course en X à 240 mm pour le balayage de plusieurs lames. Les plus grandes platines H105, H116 et H112 offrent respectivement 154 × 154 mm, 255 × 215 mm et 302 × 302 mm pour l’inspection de wafers et de grands formats. L’encombrement en mouvement peut être supérieur à la zone de course nominale ; il convient donc de vérifier le bâti du microscope, les objectifs, le condenseur et les équipements environnants sur toute l’amplitude du mouvement XY avant de choisir une platine.

La configuration à vis à billes de 1 mm privilégie la résolution de positionnement, tandis que la version de 2 mm permet des déplacements plus rapides pour un même nombre de tours moteur. Certaines platines H101A et H117 associent une vis de 1 mm à un moteur de 400 pas pour les applications axées sur la précision, ou une vis de 2 mm à un moteur de 200 pas lorsque la vitesse de balayage est plus importante. Le bon choix dépend du grossissement de l’objectif, de la taille des pixels, du recouvrement des tuiles et de la distance parcourue entre les points d’acquisition. Une configuration mécanique plus fine ne réduit pas automatiquement le temps de stabilisation ; il faut donc évaluer l’ensemble du cycle d’acquisition plutôt que de comparer uniquement la vitesse maximale nominale.

Une platine avec encodeur est préférable lorsque l’application exige une vérification en boucle fermée de la position XY réelle. Des options de règle linéaire de 0,1 µm ou 0,05 µm sont disponibles pour les configurations compatibles, tandis que l’ensemble de la gamme présente une répétabilité typique inférieure à 1 µm. Le retour d’encodeur est particulièrement pertinent pour l’imagerie time-lapse multiposition, la métrologie et les flux de travail qui reviennent plusieurs fois sur des coordonnées depuis des directions différentes. Une platine sans encodeur peut suffire pour un balayage de routine lorsque le mouvement suit une trajectoire contrôlée et que les données de correction propres à chaque platine sont appliquées. Il convient néanmoins de prendre en compte la rigidité du montage, la masse de l’échantillon et les conditions thermiques, car elles peuvent influencer les performances du système complet.

Intelligent Scanning Technology utilise des données de correction mesurées pour chaque platine individuelle et stockées avec celle-ci. Le contrôleur applique ces informations lors du calcul des mouvements demandés, afin de garantir la précision métrique et un placement répétable des tuiles. La cartographie complète repose sur un ensemble de mesures plus dense sur toute la zone de course et s’applique aux grandes platines telles que les familles H105, H116 et H112. Elle est utile lorsque de faibles erreurs de positionnement risquent de s’accumuler sur un grand wafer ou une image assemblée. Le système de correction contribue aux performances de la platine, mais un étalonnage au niveau de l’application peut encore être nécessaire pour prendre en compte la caméra, l’optique, le montage de l’échantillon et le flux de traitement d’image.

La platine sélectionnée doit être compatible avec le format du microscope, l’interface sous-platine et le dégagement disponible autour du trajet optique. Les platines pour microscopes droits et inversés utilisent des agencements mécaniques différents, tandis que la conception à dessus plat de la H101F place l’échantillon près de la surface supérieure de la platine afin d’augmenter le dégagement pour l’objectif et la tourelle porte-objectifs. L’encombrement total en mouvement doit être vérifié par rapport au bâti du microscope, au condenseur, aux objectifs, aux câbles et à tout équipement d’incubation ou de sondage. Un porte-échantillon adapté est également nécessaire pour les lames, boîtes, plaques ou wafers prévus. Des limites XY réglables permettent ensuite de restreindre le mouvement lorsque le microscope ou les accessoires installés réduisent l’enveloppe de course exploitable.

Les platines sont pilotées via le contrôleur d’automatisation pour microscope ProScan III, qui fournit des interfaces USB virtual COM et RS232C. La communication série peut être configurée à 9 600, 19 200, 38 400 ou 115 200 bauds, ce qui permet l’intégration avec des logiciels de laboratoire et des applications de commande OEM. Un kit de développement logiciel et l’accès aux commandes ASCII prennent en charge l’intégration personnalisée lorsqu’un logiciel d’imagerie standard n’est pas utilisé. Le contrôleur peut coordonner la platine XY avec des entraînements de mise au point, des roues à filtres, des obturateurs et des axes motorisés supplémentaires. La vitesse, l’accélération et le courant d’entraînement peuvent également être programmés pour s’adapter à la mécanique de la platine, à la masse de l’échantillon et au profil de mouvement requis.

La vitesse maximale n’est qu’un élément du cycle d’imagerie et ne doit pas être utilisée comme seul indicateur de débit. La gamme prend en charge des vitesses de platine allant jusqu’à 300 mm/s dans des configurations adaptées, tandis que le pas de la vis à billes, le type de moteur, les réglages d’accélération et la masse de l’échantillon influencent la vitesse réellement atteignable. Sur des déplacements courts, l’accélération, la décélération et le temps de stabilisation peuvent avoir plus d’impact que la vitesse de pointe. Une configuration à vis à billes de 2 mm peut permettre un balayage plus rapide qu’une configuration de 1 mm, tandis que les platines à moteur linéaire sont destinées aux applications exigeant une accélération plus élevée. Les estimations de débit doivent inclure la distance de déplacement, les critères de stabilisation, le temps d’exposition, le fonctionnement de l’autofocus ainsi que tout changement de filtre ou d’éclairage.