Alimentations E-Chuck
Fournisseur : Trek Inc. (Advanced Energy)
Type de technologie : Alimentations pour mandrins
Les alimentations E-Chuck électrostatiques de Trek sont utilisées pour appliquer des tensions AC et CC à l'électrode ou aux électrodes des mandrins électrostatiques Coloumbic ou Johnsen-Rahbek. Elles sont idéales pour des applications telles que la manipulation de semi-conducteurs ou d'écrans plats. Leur gamme d'alimentations E-Chuck comprend des fonctionnalités uniques telles que des formes d'onde AC personnalisables (pour un déclampage plus rapide) et un système de détection des wafers facile à utiliser.
Caractéristiques de la gamme
Un aperçu général de ce que cette gamme offre
- Configurable par l'utilisateur.
- Élimine pratiquement tous les problèmes de wafer
- Interface de commande verrouillable sur le panneau avant
- Fonctionnement bipolaire ou unipolaire ±2kV
- Courant de pointe de 10mA
- Fonctionnement Coulombique ou Johnson-Rahbek
Principe de fonctionnement
L’alimentation électrostatique à mandrin Trek est une alimentation d’optimisation de processus pilotée par logiciel, alimentée par un amplificateur. La technologie des modèles 645/645 permet de télécharger divers profils de « chucking/de-chucking » dans l’unité. L’alimentation utilise les profils téléchargés pour générer les formes d’onde et les tensions souhaitées qui offrent des performances E-chuck optimales dans un processus / une installation donnée.
Le produit se compose de deux amplificateurs haute tension et d'un circuit de commande, qui utilisent les différents profils téléchargés dans l'alimentation via le logiciel de l'unité. Une fois téléchargés, les profils sont stockés en interne dans une mémoire non volatile et sont utilisés pour le serrage et le desserrage efficaces du wafer.
Le logiciel interactif de l’unité permet de contrôler des paramètres tels que les seuils de surtension, la tension de décalage et le contrôle d’amplitude / décalage interne ou externe, et bien d’autres fonctionnalités. Toutes ces caractéristiques sont contenues dans un boîtier 1U mince, libérant ainsi un espace précieux en rack pour d’autres instruments.
Parmi les autres caractéristiques, citons le réglage de l'amplitude/du décalage en cours de processus et le contrôle de la sortie. La sortie peut être commandée par les E/S du panneau arrière, par une commande informatique série (USB, RS232 ou Ethernet en option) ou par les commandes du panneau avant. La polyvalence des modèles 645/646, ainsi que ses performances d'intégration, permettent à l'unité d'être utilisée dans plusieurs outils/processus, et éliminent le besoin de spécifier une nouvelle alimentation pour chaque outil ou processus dans une installation.
Parmi les autres avantages des alimentations HT ESC de Trek, citons leur facilité d'utilisation et leur portabilité. La fonctionnalité « Easy to use » comprend un système de menu convivial dans lequel les fonctions fréquemment utilisées sont adressables par touches et les fonctions avancées peuvent être activées selon les besoins. En outre, un écran graphique met en évidence les informations importantes et fournit des informations contextuelles à l'opérateur. En ce qui concerne sa portabilité, les modèles 645/646 sont petits, légers et conçus pour être déplacés facilement dans l'établissement.
Qu'est-ce qu'il y a dans cette gamme ?
Toutes les variantes de la gamme et une comparaison de ce qu'elles offrent
Modèle |
Plage de tension de sortie |
Courant de sortie |
Phase et tension A de sortie (phase de référence) |
Phase et tension B de sortie |
---|---|---|---|---|
645 |
0 to ±2kV |
0 to ±6.5mA DC with peak capability of 10mA |
0 to ±2kV |
0 to ±2kV (Phase B =[-1] x Phase A) |
646 |
0 to ±3kV |
0 to ±6.5mA DC with peak capability of 10mA |
0 to ±3kV |
0 to ±3kV (Phase B =[-1] x Phase A) |
Demande de renseignements
Soumettez votre demande directement à l'un de nos spécialistes des ventes techniques.
Vous pouvez également appeler notre équipe de vente.
Champs obligatoires*