Elektrostatik-Spannungsversorgungen für eine verbesserte Halbleiterfertigung
Unsere softwaregesteuerten Elektrostatik-Spannungsversorgungen bieten eine Vielzahl von Funktionen, die bedeutende Vorteile bieten und eine Vielzahl anspruchsvoller Anwendungen unterstützen.
Dokumentierte Anwendung zeigt, dass Kunden Effizienz- und Durchsatzsteigerungen um das Dreifache im Vergleich zu anderen Versorgungen verzeichnet haben. Darüber hinaus beseitigen unsere Modelle nahezu klebrige Wafer- und Wafer-Popping-Probleme, wodurch eine bessere Kontrolle der Partikelkontamination gewährleistet wird.
Das verriegelbare Frontpanel-Interface dieser Verstärker/Versorgungen optimiert viele Prozesse, indem es dem Bediener ermöglicht, Parameter wie Überstrom, Waferanwesendheits- und Wafer-Klemm-Schwellen, Klemmspannung, Offsetspannung und interne oder externe Amplituden/Offset-Steuerung zu steuern. Die dynamischen Funktionen ermöglichen es auch, Elektrostatik-Spannungsprofile über eine benutzerfreundliche Software-Schnittstelle in das Gerät hochzuladen. Die Profile, die intern mit nicht-flüchtigem Speicher gespeichert werden, werden verwendet, um den Wafer effektiv zu klemmen und zu lösen. Sowohl Coulomb- als auch Johnsen-Rahbek-Elektrostatik-Technologien werden unterstützt.
Angesichts der Vielseitigkeit von Elektrostatik-Spannungsversorgungen und ihrer anpassbaren Leistung kann das Gerät in mehreren einzigartigen Werkzeugen\/Prozessen verwendet werden, wodurch die Notwendigkeit entfällt, für jedes einzigartige Werkzeug\/Prozess in einer Einrichtung eine neue Versorgung anzugeben.
