Tegam ist eine weltweit anerkannte Marke innerhalb von Advanced Energy, spezialisiert auf RF-Messinstrumente, metrologie-grade Kalibriersysteme und Prozessleistungsvalidierungstools. Mit jahrzehntelanger Erfahrung in Hochfrequenzmessung und -diagnostik spielt Tegam eine entscheidende Rolle bei der Sicherstellung stabiler, wiederholbarer RF-Leistungsübertragung in einer Vielzahl kritischer Anwendungen, darunter Halbleiterplasmaätzung, Dünnschichtabscheidung und industrielle Plasmaverarbeitung.
Ihre Lösungen werden von OEMs und Produktionsanlagen weltweit vertraut, um Prozesskonsistenz, Werkzeugverfügbarkeit und Produktqualität in hochpräzisen Fertigungsumgebungen sicherzustellen.
Egal, ob Sie ein neues Plasmagerät optimieren oder Legacy-RF-Ausrüstung validieren, wir können Ihnen helfen, maximale Prozessleistung und Stabilität zu erreichen.
Tegam konzentriert sich auf RF-Prozessleistungsmessung und Kalibrierungstechnologien, die Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Rückverfolgbarkeit in den Vordergrund der Industrie- und Halbleiterverarbeitung stellen.
Kernkompetenzen umfassen:
- RF-Leistungssensoren & -Messgeräte: Hochpräzise Messung von vorwärtsgerichteter und reflektierter RF-Leistung
- Kalibrierübertragungsstandards: Branchenführende Systeme zur Kalibrierung und Überprüfung der Leistungsverteilungssysteme
- Prozessleistungs-Validierungstools: Instrumente, die die Werkzeugleistung und Prozesswiederholbarkeit validieren helfen
- Hochgeschwindigkeits-Datenaufzeichnung & Analyse: Für Echtzeitdiagnose und vorausschauende Wartung
- Metrologie-grade Systeme: Unterstützung der Rückverfolgbarkeit zu NIST und internationalen Standards
Die Produkte von Tegam sind darauf ausgelegt, den anspruchsvollen Anforderungen von Reinraum- und Produktionsumgebungen gerecht zu werden und sicherzustellen, dass jede Watt Leistung mit unübertroffener Präzision und Wiederholbarkeit gesteuert wird.
Wir bieten vollen Zugang zu Tegams fortschrittlichen Technologien, unterstützt durch unsere eigene technische Expertise und lokalen Anwendungssupport. Unsere Ingenieure arbeiten eng mit Kunden zusammen, um die richtigen Tegam-Lösungen für ihre RF-Prozesssteuerungsanforderungen auszuwählen, zu integrieren und zu unterstützen.
Wir stellen sicher, dass:
- Der richtige Sensor oder das richtige Messgerät für Ihre Anwendung spezifiziert wird
- Kalibrierungstools auf Ihre Prozessanforderungen abgestimmt sind
- Ihre Systeme rückverfolgbar, wiederholbar und konform mit Industriestandards bleiben
- Technische Beratung und Unterstützung während des gesamten Produktlebenszyklus
Wichtige Fakten
- Unternehmen
- Tegam / Advanced Energy
- Hauptsitz
- Vereinigte Staaten
- Technologien
- Meters
