E-Chuck Power Supplies
- Technologie
- Chuck power supplies
- Partner
- Trek / Advanced Energy
De elektrostatische chuck voedingen van Trek worden gebruikt om AC- en DC-spanningen toe te passen op de elektrode(s) van Couloumbic of Johnsen-Rahbek elektrostatische chucks. Ze zijn ideaal voor toepassingen zoals het nauwkeurig manipuleren en klemmen van halfgeleiderwafers of platte beeldschermen tijdens apparaatverwerking en hantering. Hun assortiment chuck voedingen omvat unieke mogelijkheden zoals aanpasbare AC golfvormen (voor sneller loslaten) en een eenvoudig te gebruiken wafer detectiesysteem.
Kenmerken van het assortiment
Een algemeen overzicht van wat dit assortiment te bieden heeft
- Door de gebruiker configureerbaar voor aangepaste klem- en ontkoppelingssequenties en golfvormen
- Elimineert vrijwel volledig problemen met vastzittende wafers of het losschieten van wafers
- Vergrendelbare bedieningsinterface op het voorpaneel
- ±2 kV bipolaire of unipolaire werking
- 10 mA piekstroom
- Coulombische of Johnson-Rahbek-werking
Werkingsprincipe
De elektrostatische chuckvoeding van Trek is een softwaregestuurde, door een versterker aangedreven voeding voor procesoptimalisatie die wordt gebruikt voor elektrostatische bipolaire halfgeleiderwafer-chucksystemen (E-chuck). Dankzij de technologie van de modellen 645 en 646 kunnen verschillende chuck-/de-chuckprofielen naar de eenheid worden geüpload. De voeding gebruikt de geüploade profielen om de gewenste golfvormen en spanningen te genereren die optimale E-chuck-prestaties leveren in een bepaald proces/een bepaalde faciliteit. Het product bestaat uit twee hoogspanningsversterkers en regelcircuits, die gebruikmaken van de verschillende profielen die via de gebruiksvriendelijke software van de unit naar de voeding worden geüpload. Nadat ze zijn geüpload, worden de profielen intern opgeslagen in een niet-vluchtig geheugen en worden ze gebruikt om de wafer effectief vast te klemmen en los te maken.
De interactieve software van de unit biedt controle over parameters zoals overstroom, wafer aanwezig, wafer geklemd drempels, klemspanning, offset spanning en interne of externe amplitude/offset controle. Al deze functies zijn ondergebracht in een dunne 1U behuizing, waardoor waardevolle rackruimte vrijkomt voor andere instrumenten. Extra functies zijn onder meer tijdens het proces instelbare amplitude/offset en veelzijdige uitgangsregeling. De output kan worden geregeld via de I/O op het achterpaneel, seriële computeropdrachten (USB, RS232 of optioneel Ethernet) of via de bedieningselementen op het voorpaneel. Dankzij de veelzijdigheid van de modellen 645 en 646 en de instelbare prestaties kan de unit worden gebruikt in meerdere unieke tools/processen en hoeft er niet voor elke unieke tool of elk uniek proces in een faciliteit een nieuwe voeding te worden gespecificeerd.
Extra voordelen van de ESC HV-voedingen van Trek zijn het gebruiksgemak en de draagbaarheid. De gebruiksvriendelijke functionaliteit omvat een gebruiksvriendelijk menusysteem waarin veelgebruikte functies met een druk op de toets kunnen worden geactiveerd en geavanceerde functies naar behoefte kunnen worden ingeschakeld. Bovendien benadrukt een krachtig grafisch display belangrijke informatie en geeft het de operator contextgebaseerde aanwijzingen. Wat betreft draagbaarheid zijn de modellen 645 en 646 klein, lichtgewicht en ontworpen voor eenvoudig verplaatsen binnen de faciliteit
Downloads
voor E-Chuck Power Supplies
Wat zit er in dit assortiment?
Alle varianten in het assortiment en een vergelijking van wat ze bieden
| Model | Output voltage range | Output current | Output phasing, output voltage A (reference phase) | Output phasing, output voltage B |
|---|---|---|---|---|
645 | 0 to ±2kV | 0 to ±6.5mA DC with peak capability of 10mA | 0 to ±2kV | 0 to ±2kV (Phase B =[-1] x Phase A) |
646 | 0 to ±3kV | 0 to ±6.5mA DC with peak capability of 10mA | 0 to ±3kV | 0 to ±3kV (Phase B =[-1] x Phase A) |
