Alimentations E-Chuck

Principe de fonctionnement

L’alimentation électrostatique à mandrin Trek est une alimentation d’optimisation de processus pilotée par logiciel, alimentée par un amplificateur. La technologie des modèles 645/645 permet de télécharger divers profils de « chucking/de-chucking » dans l’unité. L’alimentation utilise les profils téléchargés pour générer les formes d’onde et les tensions souhaitées qui offrent des performances E-chuck optimales dans un processus / une installation donnée.

Le produit se compose de deux amplificateurs haute tension et d’un circuit de commande, qui utilisent les différents profils téléchargés dans l’alimentation via le logiciel de l’unité. Une fois téléchargés, les profils sont stockés en interne dans une mémoire non volatile et sont utilisés pour le serrage et le desserrage efficaces du wafer.

Le logiciel interactif de l’unité permet de contrôler des paramètres tels que les seuils de surtension, la tension de décalage et le contrôle d’amplitude / décalage interne ou externe, et bien d’autres fonctionnalités. Toutes ces caractéristiques sont contenues dans un boîtier 1U mince, libérant ainsi un espace précieux en rack pour d’autres instruments.

Parmi les autres caractéristiques, citons le réglage de l’amplitude/du décalage en cours de processus et le contrôle de la sortie. La sortie peut être commandée par les E/S du panneau arrière, par une commande informatique série (USB, RS232 ou Ethernet en option) ou par les commandes du panneau avant. La polyvalence des modèles 645/646, ainsi que ses performances d’intégration, permettent à l’unité d’être utilisée dans plusieurs outils/processus, et éliminent le besoin de spécifier une nouvelle alimentation pour chaque outil ou processus dans une installation.

Parmi les autres avantages des alimentations HT ESC de Trek, citons leur facilité d’utilisation et leur portabilité. La fonctionnalité « Easy to use » comprend un système de menu convivial dans lequel les fonctions fréquemment utilisées sont adressables par touches et les fonctions avancées peuvent être activées selon les besoins. En outre, un écran graphique met en évidence les informations importantes et fournit des informations contextuelles à l’opérateur. En ce qui concerne sa portabilité, les modèles 645/646 sont petits, légers et conçus pour être déplacés facilement dans l’établissement.