Alimentations électrostatiques pour une fabrication améliorée de semi-conducteurs

Nos alimentations électrostatiques pilotées par logiciel offrent une gamme de fonctionnalités qui procurent des avantages significatifs tout en répondant à une variété d’applications exigeantes.

Une utilisation documentée montre que les clients ont constaté des augmentations d’efficacité et de rendement égales à trois fois celles d’autres alimentations. De plus, nos modèles éliminent pratiquement les problèmes d’adhérence et de popping des wafers, assurant ainsi un meilleur contrôle de la contamination par les particules.

L’interface de panneau avant verrouillable de ces amplificateurs/alimentations optimise de nombreux processus en permettant à l’opérateur de contrôler des paramètres tels que le courant excessif, les seuils de présence de wafer et de clampage de wafer, la tension de clampage, la tension de décalage et le contrôle d’amplitude/décalage interne ou externe. Les fonctions dynamiques permettent également de télécharger des profils électrostatiques dans l’unité via une interface logicielle conviviale. Les profils, stockés en mémoire non volatile, sont utilisés pour le clampage et le dé-clampage efficace du wafer. Les technologies électrostatiques de Coulomb et de Johnsen-Rahbek sont toutes deux prises en charge.

Étant donné la polyvalence des alimentations électrostatiques et leur performance réglable, l’unité peut être utilisée dans plusieurs outils\/processus uniques, éliminant ainsi le besoin de spécifier une nouvelle alimentation pour chaque outil\/processus unique dans une installation.