Tegam est une marque mondialement reconnue dans le cadre de Advanced Energy, spécialisée dans les instruments de mesure RF, les systèmes de calibration de classe métrologie et les outils de validation de puissance de processus. Avec des décennies d’expertise en mesure haute fréquence et diagnostics, Tegam joue un rôle vital pour garantir une livraison stable et répétable de la puissance RF dans une gamme d’applications critiques, y compris la gravure au plasma de semiconducteurs, la déposition de films minces et le traitement au plasma industriel.
Leurs solutions sont approuvées par les OEM et les fabriques du monde entier pour assurer la cohérence des processus, le temps de disponibilité des outils et la qualité des produits dans des environnements de fabrication de haute précision.
Que vous optimisiez un nouvel outil plasma ou validiez des équipements RF existants, nous pouvons vous aider à atteindre la performance et la stabilité maximales du processus.
Tegam se concentre sur la mesure de puissance des processus RF et les technologies de calibration qui placent la fiabilité, la précision et la traçabilité au premier plan de la transformation industrielle et des semiconducteurs.
Les capacités principales incluent :
- Capteurs & Mètres de Puissance RF : Mesure de précision de la puissance RF directe et réfléchie
- Standards de Transfert de Calibration : Systèmes de pointe pour la calibration et la vérification des systèmes de distribution de puissance
- Outils de Validation de Puissance de Processus : Instruments qui aident à valider la performance des outils et la répétabilité des processus
- Enregistrement & Analyse de Données Haute Vitesse : Pour le diagnostic en temps réel et la maintenance prédictive
- Systèmes de grade métrologique : Soutenant la traçabilité vers les normes NIST et internationales
Les produits de Tegam sont conçus pour répondre aux exigences rigoureuses des environnements en salle blanche et de production, garantissant que chaque watt de puissance délivré est contrôlé avec une précision et une répétabilité inégalées.
Nous offrons un accès complet aux technologies avancées de Tegam, soutenues par notre propre expertise technique et assistance locale en applications. Nos ingénieurs travaillent étroitement avec les clients pour sélectionner, intégrer et soutenir les bonnes solutions Tegam pour leurs besoins en contrôle de processus RF.
Nous assurons que :
- Le capteur ou le mètre correct est spécifié pour votre application
- Les outils de calibration correspondent à vos exigences de processus
- Vos systèmes restent traçables, répétables et conformes aux normes industrielles
- Un accompagnement technique et un support tout au long des cycles de vie des produits
Faits clés
- Entreprise
- Tegam / Advanced Energy
- Quartier général
- États-Unis
- Technologies
- Compteurs
