Laser Excimère, 193nm, 6.5W

Gam Laser EX10 Excimer Laser System 6.5W at 193nm

Numéro de référence fabricant :

EX10 Excimer Laser System

Fabricant Gam Laser

Gam Laser

Description :

Le laser excimère EX10, laser compact refroidi par air, est recommandé pour les applications nécessitant un grand taux de répétition et une puissance moyenne modérée. Le laser excimère EX10 offre de hautes performances dans un package compact et fournit une grande fiabilité et une source puissante de rayonnement UV. Les taux de répétition de 300Hz et de 600Hz dans les unités refroidies par air, une puissance moyenne de 12W avec le KrF à 248nm et de 6.5W avec le ArF à 193nm donnent au EX10 les meilleures caractéristiques en sortie de tous les mini excimère. Le laser excimère EX10 a également une durée de vie de gaz très importante avec jusqu'à 2 ans de fonctionnement avant le réapprovisionnement en XeCl. Une version 1000Hz refroidie par eau est également disponible.

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    Caractéristiques

  • Longueur d'onde : ArF-193 nm/KrF-248 nm/XeCl-308 nm/XeF-351 nm
  • Energie Max: 5 to 35mJ
  • Largeur d'impulsion: 11-15, ns
  • Taux de Répetition : 300/600/750Hz
  • 50mJ/100Hz TEA CO2 Version disponible
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Technologie Laser Excimer  

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